① 純度99.999999999％電子級多晶硅量產了嗎
蘇州6月6日消息，純度要求達到99.999999999%的電子級多晶硅終於量產。記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經過一系列嚴格驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標志著我國半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標准，也是我國多晶硅製造企業首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。
目前，該電子級多晶硅已通過客戶驗證並形成規模化銷售，打破長期以來國外高純度材料壟斷，填補該產業國內技術空白。鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸，可保證國內企業3至5年內電子級多晶硅不會缺貨，產品質量滿足40nm及以下極大規模集成電路用12英寸單晶製造需求。同時，還將規劃再上一條5000噸生產線，以更好地滿足國際國內市場。
來源：科技日報綜合